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    电子级水GB∕T11446.1-2013

    发布时间: 2021-10-13  点击次数: 494次

    中华人民共和国国家标准:电子级水

    GB/T 11446.1-2013

    1 范围

    GB/T 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。

    本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。

    2 规范性引用文件
    下列文件对于本文件的应用是需要的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改)适用于本文件。

    GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则

    GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法

    GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

    GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

    GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

    GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法

    GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

    GB/T 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法

    3 术语和定义

    下列术语和定义适用于本文件。

    3.1

    电子级水 electronic grade water

    电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

    3.2

    电阻率 resistivity

    在规定温度下,1cm3(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号ρ表示,单位为欧姆厘米(Ω·cm),纯水的理论电阻率为18.3MΩ·cm(25)。

    3.3

    全硅 total silicon

    水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。

    3.4

    可溶性硅 soluble silicon

    以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。

    3.5微粒性物质 granular matter

    除气体外,以非液体分散在水中,并形成非均相混合物的物质。

    3.6总有机碳 total organic carbon;TOC

    水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

    3.7吸附 absorption
    某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象。

    3.8凝聚 coagulation

    在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

    3.9絮凝 flocculation

    水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是再凝聚作用后缓慢进行,可除去水中更细的微粒。

    3.10砂滤器 sand filter

    用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和浑浊物的装置。

    3.11活性碳过滤器 activated carbon filter

    装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

    3.12离子交换 ion exchange

    一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化。3.13离子交换树脂 ion-exchange resin

    一种合成的有机离子交换材料。

    3.14去离子水 deionized water

    经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水

    3.15再生 regeneration

    离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

    3.16复合床 complex bed

    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个柱而被纯化。

    3.17混合床 mixed bed
    将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填充于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多复合床串联使用。

    3.18电渗析 electrodialysis
    一种分离水中离子的方法。在电渗析器中,阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分割成一系列小室。水流通过小室时,在电流电场作用下,水中阳离子向阴极方向移动,但不能通过阳膜;阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

    3.19逆向渗透 reverse osmosis

    用半透膜将浓水和淡水隔开,并在弄水上施加比渗透压更强的机械压力,则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中,达到分离提纯的目的。

    3.20反渗透膜 reverse osmosis membrane

    用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜,其孔径一般为0.02μm或更小,可用于除去无机离子、有机物、细菌等,使水纯化。

    3.21微孔膜滤器 membrane filter

    一种平均孔径(直径)大于0.01μm的薄膜,能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

    3.22超过滤 ultrafiltration
    一种过滤方法,在一定压力下使水流过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。

    3.23终端 terminal

    高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。

    3.24无菌 sterile

    不含任何活有机体(不论是活跃的或休眠的)。

    3.25PH

    水溶液中氢离子活度的负对数或氢氧根离子活度倒数的负对数。

    4 分类和标记

    4.1 分类

    电子级水分为四个级别:级、级、级、级。

    4.2 标记

    级电子级水标记为:EW-

    级电子级水标记为:EW-

    级电子级水标记为:EW-

    级电子级水标记为:EW-

    5 要求

    电子级水的技术指标应符合表1规定。

    1 电子级水的技术指标

    项目

    技术指标

    EW-

    EW-

    EW-

    EW-

    电阻率(25)/MΩ·cm

    ≥18(5%时间不低于17)

    ≥15(5%时间不低于13)

    ≥12

    ≥0.5

    全硅/(μg/L)

    ≤2

    ≤10

    ≤50

    ≤1000

    微粒数/(个/L)

    0.05μm~0.1μm

    500

    -

    -

    -

    0.1μm~0.2μm

    300

    -

    -

    -

    0.2μm~0.3μm

    50

    -

    -

    -

    0.3μm~0.5μm

    20

    -

    -

    -

    >0.5μm

    4

    -

    -

    -

    细菌个数/(个/mL)

    ≤0.01

    ≤0.1

    ≤10

    ≤100

    铜/(μg/L)

    ≤0.2

    ≤1

    ≤2

    ≤500

    锌/(μg/L)

    ≤0.2

    ≤1

    ≤5

    ≤500

    镍/(μg/L)

    ≤0.1

    ≤1

    ≤2

    ≤500

    钠/(μg/L)

    ≤0.5

    ≤2

    ≤5

    ≤1000

    钾/(μg/L)

    ≤0.5

    ≤2

    ≤5

    ≤500

    铁/(μg/L)

    ≤0.1

    -

    -

    -

    铅/(μg/L)

    ≤0.1

    -

    -

    -

    氟/(μg/L)

    ≤1

    -

    -

    -

    氯/(μg/L)

    ≤1

    ≤1

    ≤10

    ≤1000

    亚硝酸根/(μg/L)

    ≤1

    -

    -

    -

    溴/(μg/L)

    ≤1

    -

    -

    -

    硝酸根/(μg/L)

    ≤1

    ≤1

    ≤5

    ≤500

    磷酸根/(μg/L)

    ≤1

    ≤1

    ≤5

    ≤500

    6 试验方法

    6.1 电阻率

    电子级水的电阻率按GB/T 11446.4-013进行测定。

    6.2 全硅含量(以二氧化硅计)

    电子级水全硅(以二氧化硅计)含量按GB/T 11446.6-2013进行测定。

    6.3 微粒数

    电子级水中微粒数按GB/T 11446.9-2013进行测定。

    6.4 细菌总数

    电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10-2013进行测定。

    6.5 痕量金属含量

    电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5-2013进行测定。

    6.6 氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量

    电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按GB/T 11446.7-2013进行测定。

    6.7 总有机碳含量
    电子级水中总有机碳含量按GB/T 11446.8-2013进行测定。

    7 检验规则

    7.1检验部门

    电子级水的检验均应在有资质的检验部门进行。

    7.2 检验分类

    电子级水的检验分为交收检验和例行检验。

    7.3交收检验

    7.3.1 抽验项目

    电子级水中电阻率、钠离子、全硅(以二氧化硅计)为交收检验项目。

    7.3.2 合格判据

    在用水终端采样,检验后检验结果如有一项或一项以上不合格时,应再次采样经行检验,如仍不合格,则该批不合格,应提出改进措施直到水质合格。

    7.4 例行检验(全检项目)

    7.4.1 检验项目

    检验项目为表1规定的全部项目。检验顺序应以不影响后序实验结果的原则进行检验。

    7.4.2 不合格判定

    在用水终端采样后进行例行检验,检验结果如有不合格项时,应再次采样进行检验,如仍有不合格项时,应提出改进措施直到水质合格。

    7.4.3 检验频次

    例行检验至少每年进行一次,当制水条件发生变更时也应进行例行检验。

    8 采样、贮存、运输及标志

    8.1采样、贮存、运输
    电子级水的采样、贮存、运输应符合GB/T 11446.3-2013的规定。

    8.2 标志

    在用水终端采样进行检验时,水质合格后应附有检验合格证,合格证应包含如下内容:

    1. 名称及级别;

    2. 各项技术指标;

    3. 制水单位;

    4. 供水日期;

    5. 检验员签章及检验日期。


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